【产品描述】

KC和KTC型滑阀泵是机械式真空泵中可获得最低压力的泵，推荐应用于工作压力低于0.1Torr(0.13mbar)的工况。

由于滑阀与泵腔之间充满了油而且没有金属与金属间的接触，该系列双级泵特别的可靠和经久耐用。除了KTC-112泵是水冷系统（风冷系统供选择），其它型号的KC和KTC泵都是风冷系统。

标准产品都配置可调式气镇阀，可以处理含水蒸气或其他蒸气的介质。

KTC泵三联滑阀设计确保泵自身动态平衡，事实也证明该泵在运行中没有振动。

【典型应用】

1.        制冷系统排气

2.        液态气体储存

3.        制动液加液系统

4.        低压化学蒸气沉积（LPCVD）

5.        硅晶生长

6.        泄露检测

【技术参数】