半导体行业沉积设备提供商AIXTRON 爱思强股份有限公司近日向一家亚洲大型面板制造商出售了首套OPTACAP™-200 封装设备。这套能够处理200mm x 200mm 基板规格的独立研发系统乃于2015 年第三季度订购，并计划于2016 年第一季度交付。
这项OPTACAP™电浆辅助化学气相沉积(PECVD)创新技术能够为有机发光二极管OLED 显示器、有机发光二极管OLED 照明、有机光伏和柔性电子器件沉积高度灵活和有效的阻隔薄膜。
“薄膜封装是有机发光二极管OLED 生产过程中的重要环节。因此，我们非常荣幸能为行业带来创新的解决方案，利用此高产出量的优质阻隔薄膜能显著降低柔性和硬式OLED 器件生产过程中的关键性封装生产成本。” AIXTRON 爱思强股份有限公司首席技术官Andreas Toennis说道。
这项突破性的OPTACAP™封装技术是AIXTRON 爱思强于2015 年4 月收购硅谷公司PlasmaSi,Inc.的主要动力。这项技术与AIXTRON 爱思强现有OLED 业务的全面整合是该公司并入AIXTRON 爱思强计划的一部分。
